活動報告


【SDRJの過去の活動

2018年 11月9日(金) 14:00-17:00

第2回 SDRJ BC/ERA/ERM合同委員会 を開催しました。

※ 本委員会はSDRJメンバーのみ

議事:

14:00-14:10 オープニング

14:10-15:50 ご講演

  14:10-15:00 高宮 真 先生(東大)

        「集積パワーマネジメントから見た新デバイスへの期待」

  15:00-15:50 杉本 安隆 様 (村田製作所)

        「高周波無線通信技術を支えるLTCC材料・プロセス技術」

15:50-16:00 休憩

16:00-17:00 今後の活動について

 

以上

2018年7月3日 (火) 17:30〜

「SDRJ OSC委員会 (SDRJメンバー限定)」を開催しました。

場所:慶應大学 矢上キャンパス 14棟515号室

 https://www.keio.ac.jp/ja/maps/yagami.html

2018年6月1日(金)13:00-18:05

「IRDS/SDRJ初版ロードマップ説明および活動報告」 を開催しました。

主催: 応用物理学会・シリコンテクノロジー分科会

場所:  東工大・大岡山キャンパス・西8号館E棟10階1001号室

参加資格: なし (どなたでもご参加いただくことが可能です)

参加費: 無料 

旧ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors)の流れを汲む、

IEEE Rebooting Computing Initiative (IEEE RC)の

IRDS (International Roadmap for Devices and Systems)を中心に

国内外の各ロードマップ活動と連携をして、

システムおよびデバイスに関するロードマップを4月に発表致しました。

その日本組織である応用物理学会シリコンテクノロジー分科会内に設置された

システムデバイスロードマップ委員会

(SDRJ: The System Device Roadmap Committee of Japan)が主催をして、

下記の通り、本ロードマップの説明と活動を紹介致します。奮って御参加下さい。

International Roadmap for Devices and Systems (IRDS): https://irds.ieee.org

The System Device Roadmap Committee of Japan (SDRJ): https://www.sdrj.jp

 

プログラム: 

12:55    開会の辞                      林喜宏

13:00    IRDS/SDRJ活動紹介       林喜宏

13:15    Application and Benchmark, Systems & Architecture,

                                 Outside System Connectivityの活動紹介                    林喜宏

13:45    More Moore活動紹介                            福崎勇三

14:15    Beyond CMOS活動紹介            秋永広幸

14:45    Emerging Research Materials活動紹介             内田建

15:15    休憩

15:30    Lithography活動紹介                   石内秀美

16:00    Factory IntegrationおよびEnvironment, Safety & Healthの活動紹介 真白すぴか

16:30    Yield Enhancement活動紹介                 嵯峨幸一郎

17:00    Metrology活動紹介        瀬島幸一

17:30    総合議論                      林喜宏

18:00    閉会の辞                      辻村学

 

2018524日(木)17:30-19:00

「2018年第1回 SDRJ AB/SA合同会議」を開催しました。

場所: 慶応大学 矢上キャンパス 26棟-104 情報工学科受付奥応接室  

※この講演会の参加者としてはSDRJのSA/ABのWGメンバーの方、および、主催者からの招待者を想定しておりますが、

 すべての「SDRJ委員」の方は事前連絡の上、参加が可能です。

※WebEXでの参加もできますが、なるべく、現地での参加をお願いいたします。

※部屋は17:00よりオープンします。(17:00~17:30雑談)

議事内容:

・委員各位のF2F自己紹介。

IRDS2017 AB/SAのレビュー( https://irds.ieee.org/roadmap-2017 )

※事前に、軽く目を通しておいてください。

2018SDRJ-AB/SA活動方針

   SDRJとしての議論領域の選定

   SDRJ 他WGとのCross-Cut議論の計画

   ※ 例えば、OSC(ネットワーク)、MM/BC(デバイスアーキ)

2018317 12:58-17:45

応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム

「クラウドとIoTエッジの相乗作用によるスマート社会へのロードマップ

~コンピュータサイエンスと半導体物理の複眼視点からの未来予測~」

を開催しました。

会場:早稲田大学 西早稲田キャンパス 63号館201G201

 

プログラムはこちらからご覧いただけます。

201821日 () 14:00-17:00

Metrology (Met) WG 第5回会議 を開催しました。

会場:ソニー本社(品川)

アジェンダ:

14:0015:00 W.G.内討議(IRDS Winter Meeting

参加はMet -WGメンバー限定です。

15:3017:00 

講演 ⇒ キャリア/拡散層分布可視化技術の現状調査として

講演者:ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング(株)

            前田一史 様

タイトル:

「走査型マイクロ波顕微鏡によるキャリア濃度プロファイル定量化の検討

参加はMet-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。

2018119日 14:30-17:00

More Moore (MM) WG 第3回会議を開催しました。

会場:ソニー本社(品川)

参加者:MM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」

議題:

 14:30-15:30 MM-WG(IRDS Winter Meeting内容など)

 16:00-17:00 ヒアリング(講演)

講演者:東工大・若林先生「IEDM 2017参加報告」 

参加はMM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。

2017年11月15日 11:00-12:30

SDRJヒアリング講演会を開催しました
会場慶應義塾大学 “三田キャンパス” 研究室棟A会議室
https://www.keio.ac.jp/ja/maps/mita.html
※この講演会の参加者としてはSDRJのSA/AB/OSC/MM/BC/ERMのWGメンバーの方、および、主催者からの招待者を想定しておりますが、すべての「SDRJ委員」の方は事前登録の上、参加が可能です。
講演題目:MACHINE LEARNING / MACHINE INTELLIGENCE
講演者Dr. PRAVEEN RAGHAVAN, IMEC

2017年10月24日 15:00-17:00

Metrology (Met) WG 第4回会議を開催しました。

場所:ソニー本社(品川)

アジェンダ:
15:00〜17:00

講演 ⇒ キャリア/拡散層分布可視化技術の現状調査として
講演者:東北大学   長 康雄 先生
          「走査型非線形誘電率顕微鏡SNDMを用いたデバイス観察」

     ご講演90分 + ディスカッション

※参加はMet-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。

2017年10月24日 14:30-18:30

More Moore (MM) WG ヒアリング(講演会)を開催しました

会場:ソニー(株)本社 3F Cホール

講演アジェンダ

・14nmから 5nmに向かう BEOL技術(IBM野上様)

・CMOS Scaling and Integration: Present Status and Roadmap(東大 平本先生(MM-WG))

・Advanced MOS device technology(東大 竹中先生)

・Challenges in Si device and process technology for dimensional and voltage scaling(AIST 松川様(MM-WG))

※参加はMM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。

2017年9月15日 14:00-17:30

Metrology (Met) WG 第3回会議を開催しました。

会場:ソニー本社(品川)

アジェンダ:

14:00〜15:10  講演 ⇒ キャリア/拡散層分布可視化技術の現状調査

                   講演者:名古屋大学 五十嵐 信行 先生

        「TEMを用いた半導体デバイスのポテンシャルマッピング」

15:30〜16:30 Virtual Metrologyについてのディスカッション

        (内容紹介:東京エレクトロン 真白様)

16:45〜17:30  W.G.内討議      ※参加はMet -WGメンバー限定です。

2017年7月28日 13:30-17:30

Metrology (Met)WG 第二回会議 を開催しました。

会場:名古屋大学・東京オフィス(東京駅前)

アジェンダ:

13:30〜15:00  W.G.内討議     ※参加はMet -WGメンバー限定です。

15:30〜17:30 講演及びディスカッション  ⇒ 

キャリア/拡散層分布可視化技術の現状調査

講演者:東京大学 柴田 直哉先生 

 「(仮題)DPC-STEM電磁場解析のデバイス解析への応用」

2017年6月26日 16:00-18:00

More Moore (MM) WG 第2回会議を開催しました。

会場:東工大・すずかけ台キャンパス・G2棟1002号室

参加者:MM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」

議題:6/7 IRDS/SDRJ国際会議内容、

         ロードマップ議論、ヒアリング(講演)、他

講演者:東工大・若林整

「Symposia on VLSI Technology and Circuits 2017参加報告」

2017年5月19日 15:30-17:30

More Moore (MM) WG 第1回会議を開催しました。

会場:ソニー大崎

参加者:MM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」

議題:春の応物MM資料内容、ロードマップ議論、活動計画、他

2017年3月14日 

応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム

「半導体とコンピュータとのハーモニックイノベーションとその産業化ロードマップ」を開催しました。

 

【過去のIRDS 国際会議とその関連会議】

2018914

IRDS Fall Workshop が応物会館で、IRDS Fall Conferenceが東京大学で、それぞれ開催されました。

IRDS Fall Conferenceのプログラムは下記の通りです。

 

Program: 

 

Duration

   Schedule

                   Topics

Speakers

10 min

13:30-13:40

Introduction and Regional Greetings

Yoshihiro Hayashi, SDRJ/Japan

Paolo Gargini, IRDS chairman

Francis Balestra, SiNANO, (WebEx)

20 min

13:40-14:00

Overview of IRDS Roadmap

Paolo Gargini

 

 

Session 1

 

30 min

14:00-14:30

Application Benchmarking

Tom Conte (WebEx)

20 min

14:30-14:50

Outside System Connectivity

Mike Garner

20 min

14:50-15:10

Lithography

Hidemi Ishiuchi

30 min

15:10-15:40

Beyond CMOS and ERM

Shamik Das and Hiro Akinaga

20 min

15:40-16:00

Packaging Integration

Dev Gupta (WebEx)

10 min

16:00-16:10

Break

 

 

 

Session 2

 

20 min

16:10-16:30

Lithography More Moore

Mustafa Badaroglu (WebEx)

20 min

16:30-16:50

Factory Integration and ESH/S

Supika Mashiro

20 min

16:50-17:10

Yield Enhancement

Koichiro Saga

20 min

17:10-17:30

Metrology

George Orji (WebEx)

20 min

17:30-17:50

Panel Discussion

 

5 min

17:50-17:55

Concluding Remarks

Yoshihiro Hayashi, SDRJ/Japan

 

Sponsors: 

  Sponsored by The System and Device Roadmap Committee of Japan (SDRJ), Silicon Technology Division, 

  The Japan Society of Applied Physics (JSAP) .

  Technical Co-sponsored by Future Directions Committee, IEEE

 

The Conference Chair:       

Yoshihiro Hayashi, Chairperson of SDRJ and IRC of IEEE IRDS (Renesas Electronics Corporation) 

 

Technical Program Chairs: 

Toshiro Hiramoto (The University of Tokyo)

Hitoshi Wakabayashi (Tokyo Institute of Technology)

Hiroyuki Akinaga (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, AIST)

 

Treasurer: 

Hidemi Ishiuchi (Evolving nano process Infrastructure Development Center, Inc., EIDEC)

Manabu Tsujimura (Ebara Corporation)

 

<Steering Committee @2018>

Yoshihiro Hayashi (Renesas Electronics Corporation), Chairperson

Hidemi Ishiuchi (Evolving nano process Infrastructure Development Center, EIDEC)    

    Hitoshi Wakabayashi (Tokyo Institute of Technology)

    Tatsuya Tatsumi (Sony Semiconductor Solutions Corp.)                                   

    Manabu Tsujimura (Ebara Corporation)

    Toshiro Hiramoto (The University of Tokyo)

    Hiroyuki AkinagaNational Institute of Advanced Industrial Science and Technology, AIST)  

2018311日、12

IRDS Spring Workshop が米国のHyatt Regency, San Francisco Airportで開催されました。

 

2017116日~10

IEEE Rebooting Computing Week の一環として以下の会議が開催されました。

2017116日、7日   Fall IRDS Conference

2017118日、9         IEEE International Conference on Rebooting Computing

20171110                 IEEE Industry Summit on the Future of Computing

 

2017810

Heterogeneous Integration Roadmap WorkshopIRDSSDRJの活動について講演しました。

講演会  Heterogeneous Integration Roadmap Workshop

会場     ナガセ グローバル人財開発センター(千駄ヶ谷) 2階セミナールーム

講師     東京工業大学 若林整  Hitoshi Wakabayashi, Tokyo Institute of Technology)

講演題目 "IRDS (International Roadmap for Devices and Systems) & SDRJ (System Device Roadmap committee of Japan) Activities Introduction”

 

201784日 16:30-17:30

IRDS/SDRJ More Moore IFT(International Focus Team) Working Meeting (2)

参加はMM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。

IRDS出席者;IRDS MM IFT Leader Mustafa Badalogru(電話会議にて上記会議室に接続)

 

アジェンダ  IRDS MM Table対応について詳細議論

 

2017年7月28日 16:30-17:30

IRDS/SDRJ More Moore IFT(International Focus Team) Working Meetingを開催しました。

※ 参加はMM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。

会場: 東京工業大学 すずかけ台 G2-1002会議室

http://www.titech.ac.jp/maps/suzukakedai/index.html

IRDS出席者: IRDS MM IFT Leader Mustafa Badalogru

           (電話会議にて上記会議室に接続)

アジェンダ

 ・IRDS meeting at Semicon WestにおけるUpdate

 ・IRDS MM Table対応について

 

2017年4月1日~3日

IRDS Spring Workshop米国のMontereyで開催されました。