活動報告
【SDRJの過去の活動】
2019年3月29日14:00～17:00
Systems and Architectures (SA) WG 第１回会議 を開催しました。
場所： 理研東京 事務所
〒103-0027 東京都中央区日本橋1-4-1 日本橋一丁目三井ビルディング 15階
http://www.riken.jp/access/tokyo-map/
議事：
- イントロダクション・自己紹介 (14:00-14:15)
- 「AI/DL向けプロセッサの研究動向」 近藤正章（東京大学・理研） （14:15~15:05）
- 「Deep Learning処理向けプロセッサ DLU」 石原 輝雄（富士通研） （15:05-15:55））
- 「The first-generation MN-Core processor」 牧野淳一郎（神戸大学・理研）（15:55-16：45）
- 統合議論とIRDS/SDRJ SAの活動予定 （16:45-17:00）
※ 本会合はSDRJメンバーのみ参加可能です。
参加お問合せ先；Systems and Architectures (SA) WG 佐藤 <Mitsuhisa Sato <msato@riken.jp>
2019年3月22日（金）16:00～18:00
Yield Enhancement WG 第12回会議 を開催しました。
場所：ソニーシティ大崎3F 0304会議室
講演：
・「金属表面の不働態処理技術」東北大学 白井先生（16:00~17:00）
・有機溶剤中の金属不純物管理に関する議論（白井先生ご同席）（17:00~17:30）
・IRDS/SDRJ全体の活動状況（17:30-17:45）
・IRDS2018改訂版進捗状況（17:45-18:00）
※ 本会合はSDRJメンバーのみ参加可能です。
参加お問合せ先；Yield Enhancement WG 嵯峨幸一郎 <Koichiro.Saga@sony.com>
2019年3月28日（木） 14:00-17:00
第５回 BC(Beyond CMOS/ERM（Emerging Research Materials）合同委員会 を開催しました。
場所： 慶大 矢上キャンパス（14棟 313会議室 DS33）
https://www.ssn.elec.keio.ac.jp/contact/
参加者: SDRJ BB/ERM委員を中心に「SDRJメンバー限定」
議事次第:
14:00-14:10 オープニング
14:10-15:50 ご講演
14:10-15:00 山根 大輔 先生（東京工業大学）
「次世代ＩｏＴ社会に向けたＭＥＭＳ振動発電素子」
15:00-15:50 石黒 仁輝 先生 （慶應義塾大学）
「無線電力伝送の技術動向」
15:50-16:00 休憩
16:00-17:00 今後の活動について
問合せ先： SDRJ ERMチェア/東京大学 内田
uchidak@material.t.u-tokyo.ac.jp
2019年3月9日（土）9:00 – 12:00
応用物理学会 春季学術講演会 特別シンポジウムを開催しました。
第66回 応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム
異種領域融合のイノベーションを探る、国際システムデバイス技術ロードマップ(2019)
International Roadmaps on Systems and Devices 2019,
Searching xenogeneic technology innovations
会場： 東京工業大学 大岡山キャンパス 西講義棟１（旧西5号館）2階 W521
会場アクセスとフロアマップ：
https://meeting.jsap.or.jp/jsapm/wp-content/uploads/2018/11/Access_J.pdf
https://meeting.jsap.or.jp/jsapm/wp-content/uploads/2019/01/floormap.pdf
特別シンポジウムは講演会参加者以外も無料でご参加いただけます。
事前参加申し込みも必要ございません。
プログラムはこちらからご覧いただけます。
2019年1月29日（火） 14:00-17:00
BC(Beyond CMOS/ERM（Emerging Research Materials）合同委員会 を開催いたしました。
場所： 慶大 矢上キャンパス（14棟 513会議室 DS53）
https://www.ssn.elec.keio.ac.jp/contact/
参加者: SDRJ BB/ERM委員を中心に「SDRJメンバー限定」
議事次第（予定）:
14:00-14:10 オープニング
14:10-15:00 柳谷 隆彦 先生（早稲田大学）
「５Ｇ以降に必要なスマートフォン向けフィルタ（ＢＡＷフィルタ）の薄膜材料」
15:00-15:50 中辻 知 先生 （東京大学）
「トポロジカル磁性体を用いた新しいスピントロニクスと熱電応用」
15:50-16:00 休憩
16:00-17:00 今後の活動について
問合せ先： SDRJ ERMチェア/慶応義塾大学 内田 uchidak@elec.keio.ac.jp
2018年12月11日（火） 10:00-12:00
OSC（Outside System Connectivity）委員会 を開催いたしました。
場所： 応物会館3階 Room1
参加者: IRDS－OSCリーダ Mike Garner氏
OSC-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」
議題： IRDS2018版に向けた改訂内容の議論（予定）
1. 5G Technical Challenges and Technology Options
a. <6GHz Massive MIMO (Discussion)
b. 28GHz+ Challenges (Discussion)
2. Optical Interconnects
3. Information Processing Needs for Autonomous Vehicles
2018年 11月29日（木）13:30-17:00
Metrology (Met) WG 主催ヒアリング
” 半導体デバイス評価へ向けた電子顕微鏡へのニーズと最新ソリューション”
を開催しました。
※ 本会合はSDRJメンバーのみ参加可能です。
（１）ご講演：TEM関連技術のデバイス評価応用（含むptychography ） JEOL/近藤様、佐川様、朝山様
（２）2018Metorology Roadmap確認
（３）議論：電子顕微鏡での半導体デバイスの評価
2018年 11月23日（金） 14:00-17:00
MM(More Moore) WG 第5回会議 を開催いたしました。
場所： 金沢工業大学 扇が丘キャンパス
参加者：MM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」
議題：
14:00-15:00 MM-WG(IRDS Winter Meeting内容など)
15:00-16:00 ヒアリング
Advanced Device Technologies beyond FinFET era for Logic Chip（仮） 若林先生
システムおよびデバイスの国際ロードマップにみるデバイス技術の動向 福崎
16:00-17:00 今後の活動について
問合せ先： ソニーセミコンダクタソリューションズ 福崎 勇三 yuzo.fukuzaki@sony.com
2018年 11月9日（金） 14:00-17:00
第2回 SDRJ BC/ERA/ERM合同委員会 を開催しました。
※ 本委員会はSDRJメンバーのみ
議事：
14:00-14:10 オープニング
14:10-15:50 ご講演
14:10-15:00 高宮 真 先生（東大）
「集積パワーマネジメントから見た新デバイスへの期待」
15:00-15:50 杉本 安隆 様 （村田製作所）
「高周波無線通信技術を支えるLTCC材料・プロセス技術」
15:50-16:00 休憩
16:00-17:00 今後の活動について
以上
2018年7月3日 (火) 17:30〜
「SDRJ OSC委員会 (SDRJメンバー限定)」を開催しました。
場所：慶應大学 矢上キャンパス 14棟515号室
https://www.keio.ac.jp/ja/maps/yagami.html
2018年6月1日（金）13:00-18:05
「IRDS/SDRJ初版ロードマップ説明および活動報告」 を開催しました。
主催： 応用物理学会・シリコンテクノロジー分科会
場所： 東工大・大岡山キャンパス・西8号館E棟10階1001号室
参加資格： なし (どなたでもご参加いただくことが可能です)
参加費： 無料
旧ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors)の流れを汲む、
IEEE Rebooting Computing Initiative (IEEE RC)の
IRDS (International Roadmap for Devices and Systems)を中心に
国内外の各ロードマップ活動と連携をして、
システムおよびデバイスに関するロードマップを4月に発表致しました。
その日本組織である応用物理学会シリコンテクノロジー分科会内に設置された
システムデバイスロードマップ委員会
(SDRJ: The System Device Roadmap Committee of Japan)が主催をして、
下記の通り、本ロードマップの説明と活動を紹介致します。奮って御参加下さい。
International Roadmap for Devices and Systems (IRDS): https://irds.ieee.org
The System Device Roadmap Committee of Japan (SDRJ): https://www.sdrj.jp
プログラム：
12:55 開会の辞 林喜宏
13:00 IRDS/SDRJ活動紹介 林喜宏
13:15 Application and Benchmark, Systems & Architecture,
Outside System Connectivityの活動紹介 林喜宏
13:45 More Moore活動紹介 福崎勇三
14:15 Beyond CMOS活動紹介 秋永広幸
14:45 Emerging Research Materials活動紹介 内田建
15:15 休憩
15:30 Lithography活動紹介 石内秀美
16:00 Factory IntegrationおよびEnvironment, Safety & Healthの活動紹介 真白すぴか
16:30 Yield Enhancement活動紹介 嵯峨幸一郎
17:00 Metrology活動紹介 瀬島幸一
17:30 総合議論 林喜宏
18:00 閉会の辞 辻村学
2018年5月24日（木）17:30-19:00
「2018年第1回 SDRJ AB/SA合同会議」を開催しました。
場所： 慶応大学 矢上キャンパス 26棟－104 情報工学科受付奥応接室
※この講演会の参加者としてはSDRJのSA/ABのWGメンバーの方、および、主催者からの招待者を想定しておりますが、
すべての「SDRJ委員」の方は事前連絡の上、参加が可能です。
※WebEXでの参加もできますが、なるべく、現地での参加をお願いいたします。
※部屋は17:00よりオープンします。（17:00~17:30雑談）
議事内容：
・委員各位のF2F自己紹介。
・IRDS2017 AB/SAのレビュー（ https://irds.ieee.org/roadmap-2017 ）
※事前に、軽く目を通しておいてください。
・2018SDRJ-AB/SA活動方針
SDRJとしての議論領域の選定
SDRJ 他WGとのCross-Cut議論の計画
※ 例えば、OSC（ネットワーク）、MM/BC（デバイスアーキ）
2018年3月17日 12:58-17:45
応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム
「クラウドとIoTエッジの相乗作用によるスマート社会へのロードマップ
～コンピュータサイエンスと半導体物理の複眼視点からの未来予測～」
を開催しました。
会場：早稲田大学 西早稲田キャンパス 63号館201（G201）
プログラムはこちらからご覧いただけます。
2018年2月1日 (木) 14:00-17:00
Metrology (Met) WG 第５回会議 を開催しました。
会場：ソニー本社（品川）
アジェンダ：
14:00〜15:00 W.G.内討議（IRDS Winter Meeting、
※参加はMet -WGメンバー限定です。
15:30〜17:00
講演 ⇒ キャリア/拡散層分布可視化技術の現状調査として
講演者：ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング（株）
前田一史 様
タイトル:
「走査型マイクロ波顕微鏡によるキャリア濃度プロファイル定量化の検討
※参加はMet-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。
2018年1月19日 14:30-17:00
More Moore (MM) WG 第3回会議を開催しました。
会場：ソニー本社（品川）
参加者：MM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」
議題：
14:30-15:30 MM-WG(IRDS Winter Meeting内容など)
16:00-17:00 ヒアリング(講演)
講演者：東工大・若林先生「IEDM 2017参加報告」
※参加はMM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。
2017年11月15日 11:00-12:30
SDRJヒアリング講演会を開催しました
会場：慶應義塾大学 “三田キャンパス” 研究室棟A会議室
https://www.keio.ac.jp/ja/maps/mita.html
※この講演会の参加者としてはSDRJのSA/AB/OSC/MM/BC/ERMのWGメンバーの方、および、主催者からの招待者を想定しておりますが、すべての「SDRJ委員」の方は事前登録の上、参加が可能です。
講演題目：MACHINE LEARNING / MACHINE INTELLIGENCE
講演者：Dr. PRAVEEN RAGHAVAN, IMEC
2017年10月24日 15:00-17:00
Metrology (Met) WG 第4回会議を開催しました。
場所：ソニー本社（品川）
アジェンダ：
15:00〜17:00
講演 ⇒ キャリア/拡散層分布可視化技術の現状調査として
講演者：東北大学 長 康雄 先生
「走査型非線形誘電率顕微鏡SNDMを用いたデバイス観察」
ご講演90分 ＋ ディスカッション
※参加はMet-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。
2017年10月24日 14:30-18:30
More Moore (MM) WG ヒアリング（講演会）を開催しました。
会場：ソニー（株）本社 3F Cホール
講演アジェンダ
・14nmから 5nmに向かう BEOL技術（IBM野上様）
・CMOS Scaling and Integration: Present Status and Roadmap（東大 平本先生(MM-WG)）
・Advanced MOS device technology（東大 竹中先生）
・Challenges in Si device and process technology for dimensional and voltage scaling（AIST 松川様(MM-WG)）
※参加はMM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。
2017年9月15日 14:00-17:30
Metrology (Met) WG 第３回会議を開催しました。
会場：ソニー本社(品川)
アジェンダ：
14:00〜15:10 講演 ⇒ キャリア/拡散層分布可視化技術の現状調査
講演者：名古屋大学 五十嵐 信行 先生
「TEMを用いた半導体デバイスのポテンシャルマッピング」
15:30〜16:30 Virtual Metrologyについてのディスカッション
（内容紹介：東京エレクトロン 真白様）
16:45〜17:30 W.G.内討議 ※参加はMet -WGメンバー限定です。
2017年7月28日 13:30-17:30
Metrology (Met)WG 第二回会議 を開催しました。
会場：名古屋大学・東京オフィス(東京駅前)
アジェンダ：
13:30〜15:00 W.G.内討議 ※参加はMet -WGメンバー限定です。
15:30〜17:30 講演及びディスカッション ⇒
キャリア/拡散層分布可視化技術の現状調査
講演者：東京大学 柴田 直哉先生
「（仮題）DPC-STEM電磁場解析のデバイス解析への応用」
2017年6月26日 16:00-18:00
More Moore (MM) WG 第2回会議を開催しました。
会場：東工大・すずかけ台キャンパス・G2棟1002号室
参加者：MM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」
議題：6/7 IRDS/SDRJ国際会議内容、
ロードマップ議論、ヒアリング(講演)、他
講演者：東工大・若林整
「Symposia on VLSI Technology and Circuits 2017参加報告」
2017年5月19日 15:30-17:30
More Moore (MM) WG 第1回会議を開催しました。
会場：ソニー大崎
参加者：MM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」
議題：春の応物MM資料内容、ロードマップ議論、活動計画、他
2017年3月14日
応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム
「半導体とコンピュータとのハーモニックイノベーションとその産業化ロードマップ」を開催しました。
【過去のIRDS 国際会議とその関連会議】
2019年4月3日（水） ~ 4月5日(金)
INC (International Nanodevices and Computing) 2019 の一環として、
IRDS Workshop and Conferenceが開催されました
場所： Minatec, Grenoble, FRANCE
2018年11月5日、6日
IEEE Rebooting Computing Week の一環として米国Virginia州Tysonsの
Hilton McLean Tysons CornerでIRDS Winter Workshop and Conferenceが
開催されました。
2018年9月14日
IRDS Fall Workshop が応物会館で、IRDS Fall Conferenceが東京大学で、それぞれ開催されました。
IRDS Fall Conferenceのプログラムは下記の通りです。
Program:
|
Duration |
Schedule |
Topics |
Speakers |
|
10 min |
13:30-13:40 |
Introduction and Regional Greetings |
Yoshihiro Hayashi, SDRJ/Japan Paolo Gargini, IRDS chairman Francis Balestra, SiNANO, (WebEx) |
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20 min |
13:40-14:00 |
Overview of IRDS Roadmap |
Paolo Gargini |
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Session 1 |
|
|
30 min |
14:00-14:30 |
Application Benchmarking |
Tom Conte (WebEx) |
|
20 min |
14:30-14:50 |
Outside System Connectivity |
Mike Garner |
|
20 min |
14:50-15:10 |
Lithography |
Hidemi Ishiuchi |
|
30 min |
15:10-15:40 |
Beyond CMOS and ERM |
Shamik Das and Hiro Akinaga |
|
20 min |
15:40-16:00 |
Packaging Integration |
Dev Gupta (WebEx) |
|
10 min |
16:00-16:10 |
Break |
|
|
|
|
Session 2 |
|
|
20 min |
16:10-16:30 |
Lithography More Moore |
Mustafa Badaroglu (WebEx) |
|
20 min |
16:30-16:50 |
Factory Integration and ESH/S |
Supika Mashiro |
|
20 min |
16:50-17:10 |
Yield Enhancement |
Koichiro Saga |
|
20 min |
17:10-17:30 |
Metrology |
George Orji (WebEx) |
|
20 min |
17:30-17:50 |
Panel Discussion |
|
|
5 min |
17:50-17:55 |
Concluding Remarks |
Yoshihiro Hayashi, SDRJ/Japan |
Sponsors:
Sponsored by The System and Device Roadmap Committee of Japan (SDRJ), Silicon Technology Division,
The Japan Society of Applied Physics (JSAP) .
Technical Co-sponsored by Future Directions Committee, IEEE
The Conference Chair:
Yoshihiro Hayashi, Chairperson of SDRJ and IRC of IEEE IRDS (Renesas Electronics Corporation)
Technical Program Chairs:
Toshiro Hiramoto (The University of Tokyo)
Hitoshi Wakabayashi (Tokyo Institute of Technology)
Hiroyuki Akinaga (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, AIST)
Treasurer:
Hidemi Ishiuchi (Evolving nano process Infrastructure Development Center, Inc., EIDEC)
Manabu Tsujimura (Ebara Corporation)
<Steering Committee @2018>
Yoshihiro Hayashi (Renesas Electronics Corporation), Chairperson
Hidemi Ishiuchi (Evolving nano process Infrastructure Development Center, EIDEC)
Hitoshi Wakabayashi (Tokyo Institute of Technology)
Tatsuya Tatsumi (Sony Semiconductor Solutions Corp.)
Manabu Tsujimura (Ebara Corporation)
Toshiro Hiramoto (The University of Tokyo)
Hiroyuki Akinaga（National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, AIST)
2018年3月11日、12日
IRDS Spring Workshop が米国のHyatt Regency, San Francisco Airportで開催されました。
2017年11月6日～10日
IEEE Rebooting Computing Week の一環として以下の会議が開催されました。
2017年11月6日、7日 Fall IRDS Conference
2017年11月8日、9日 IEEE International Conference on Rebooting Computing
2017年11月10日 IEEE Industry Summit on the Future of Computing
2017年8月10日
Heterogeneous Integration Roadmap WorkshopでIRDSとSDRJの活動について講演しました。
講演会 Heterogeneous Integration Roadmap Workshop
会場 ナガセ グローバル人財開発センター（千駄ヶ谷） 2階セミナールーム
講師 東京工業大学 若林整 （Hitoshi Wakabayashi, Tokyo Institute of Technology)
講演題目 "IRDS (International Roadmap for Devices and Systems) & SDRJ (System Device Roadmap committee of Japan) Activities Introduction”
2017年8月4日 16:30-17:30
IRDS/SDRJ More Moore IFT(International Focus Team) Working Meeting (第2回)
※ 参加はMM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。
IRDS出席者；IRDS MM IFT Leader Mustafa Badalogru(電話会議にて上記会議室に接続)
アジェンダ ・IRDS MM Table対応について詳細議論
2017年7月28日 16:30-17:30
IRDS/SDRJ More Moore IFT(International Focus Team) Working Meetingを開催しました。
※ 参加はMM-WGメンバーを中心に「SDRJメンバー限定」です。
会場： 東京工業大学 すずかけ台 G2-1002会議室
http://www.titech.ac.jp/maps/suzukakedai/index.html
IRDS出席者: IRDS MM IFT Leader Mustafa Badalogru
(電話会議にて上記会議室に接続)
アジェンダ
・IRDS meeting at Semicon WestにおけるUpdate
・IRDS MM Table対応について
2017年4月1日～3日
IRDS Spring Workshop米国のMontereyで開催されました。